Hvorfor bruker vi poly som gate?

[satyasiva]

hvorfor bruker vi poly som gate?

 

[ajaytronic]

Vi bruker poly grunn av to årsaker:
1.Det vil gi en ekstra metall til bruk.
2.Poly gi bedre termisk stabilitet sammenlignet med metall.

 

[Tryon]

Vi bruker poly som gate i alle tilfeller, ikke sant?

 

[pabloec]

fordi nå er det billigere og enklere å dikte

 

[funnynypd]

pris og ytelse.

 

[deh_fuhrer]

sjekk denne linken:

ftopic283869.html

 

[freelancer]

Du kan sjekke noen bøker på halvledere fysikk og prosess for mer detaljerte forklaringer.
de viktigste RESON er:
1.The tungt dopet knep silisium har samme funksjon arbeidet med silisium substrat, så når dannar Mtal-oxide-semiconductor kondensator struktur, har det samme bandet struture med substrate.when det gjelder å bestemme vt av NMOs og PMOS, kan vi bare bruke forskjellige dopet p og n knep for å få riktig VT for hverandre, og ingen andre metall kan gjøre det.
2.for prosess RESON, smeltepunktet av poly silisium er svært høy, mye høyere enn mange andre metaller, slik at den tåler høye annealing temperatur til aktiv S / D implantation.so selv-justering og ldd technques kan brukes for å forbedre ytelsen transistor.

men fortsetter whenthe funksjonen størrelse å skalere ned, kommer det ut et knep for tømming effekt for å svekke ytelsen til MOS transistoren, er dette fordi de iboende egenskapene til poly silicon.so metaller kommer back.Intel har vedtatt metal gate og High-k dielectric teknologi i sine 45nm Produkt.

 

[electronXwork]

Polysilikon kan trygt tåle høy temp kreves for å anneal kilden / avløp implantater, slik at den kan fungere som en maske for å danne egen linje kilder og avløp.

Poly portene ikke bare tilbyr raskere veksling hastigheter, men også bedre kontroll over terskelen voltges.