MIM kondensatoren

[henrywent]

Hei,
Jeg har problemer med å forstå utformingen av MIM kondensatoren Pcell tilbys av SMIC PDK.Fra bordet, den MIM kondensatoren består av M5, mim og M6 lag.M6 er det øverste laget i prosessen.spørsmålet mitt er om M5 er den nederste laget av hetten, som laget er det øverste laget av hetten, mim eller M6?Er mim laget en fysisk lag eller en tilleggskonto laget?hva
er mer merkelig er at begge nederst tallerken og topplate er tappet ut til M6 gjennom VIA5-6.Så det virker som det ikke er mulig for M6 å være det øverste laget av kondensatoren og mim er et fysisk lag (og det øverste laget for cap), men hvordan kan mim lag hoppe til M6 gjennom VIA5-6, ettersom det er ikke M5 metal?Jeg er veldig forvirret, noen kommentar vil bli verdsatt.
hilsen,
henry

 

[erikl]

Hi henrywent,
Jeg forstår godt forvirring; jeg en gang hadde samme

<img src="http://www.edaboard.com/images/smiles/icon_wink.gif" alt="Kyss" border="0" />

Så jeg prøver å beskrive strukturen og håper dette er forståelig:
De mim laget er en ekstra (fysisk, heller tynn) metall laget mellom M5 og M6, atskilt med en svært tynn isolasjon laget fra M5 (dag ofte fra høy k materiale), bare på MIM cap stillinger (dvs. etched unna andre steder) .Denne strukturen (tynn isolasjon laget av høy k materiale) gir høy cap per område.
På toppen av mim laget er vanlig isolasjon laget mellom M5 og M6, derav VIA5-6 koble mim med M6.Og ikke M5 til M6, som layout ville gjøre anta hvis mim laget er ikke vist.
Skål, erikl

 

[henrywent]

Takk, svaret er svært nyttig for meg!