redusere parasitics i mim cap

[hacksgen]

Hei alle,

Jeg vil gjerne vite om det er noen måte å undertrykke parasitic capacitances i mim caps.Teknologien brukes i en UMC 0.18um imager teknologi som har 4 metal lag og mim cap er mellom M3 og M4 lag.Jeg designer en belastning videredistribusjon sar ADC for 12 bits oppløsning, og jeg tror det parasitic kan spille en betydelig rolle i denne utformingen.Noen forslag til hvordan du kan redusere parasitic capcitance for en gitt enhet kondensatoren C.

Takk

 

[l]

Mener du - i løpet extraction du vil unngå dobbel telling av parasitic caps?- Hvis ja - du må bruke blokkeringsteknikker for under RC extraction.

Hvis du mener redusere parasitic C fra platene til nærliggende rutet metall interconnects - og redusere frakoblet cap til underlaget [GND] ..deretter lese følgende:

Jeg vet ikke - teknikk for å undertrykke det helt eller vesentlig - ikke tenke på skjerming - som kommer til å øke den ytterligere.

Unngå andre rutet lag over og under MIM struktur - hvis mulig.Som det er en 4 metall prosessen - og cap-top er koblet til M4 det er ingen trussel fra toppen - Nå kan du fjerne Passivering dielectric på toppen, hvor det er MIM - som vil redusere feltet kopling til en svært liten grad .[effekten vil ikke være bemerkelsesverdig]

På bunnen - for å redusere decoupling cap verdi - du kan ikke forlate en jordet psub under MIM å redusere substratet kopling - kanskje trekke en NWELL form under MIM, den NWELL opptrer nesten som et annet gjennomfører plate / lag mellom p-substratet og mim -bot [M3] - og depletion cap mellom flytende NWell og PSUB - vil bli lagt til som en cap i serien med MIM.[Ingenting vil forbedres dramatisk]

Hvis du blir kjent med en annen teknikk - Jeg er interessert i å lære.

Takk

 

[hacksgen]

Takk for råd.Jeg fortsatt prøver å finne ut measn å undertrykke parasitic.Fra støperi dokumentene jeg fikk vite at parasitics kan være så høy som 12 prosent av beregnet capcitance mellom nederste plate og subtrate.Derfor har jeg for å prøve å redusere det noe eller avbryte sin virkning.