vias i tsmc 013 teknologi

[yxo]

Hei kolleger,
Jeg lurer på hvor lav motstand av vias i tsmc 013.Jeg har ikke funnet tall i design reglene, men etter exctraction fikk jeg bare 1 Ohm.Er det virkelig kunne være sant?Takk.

 

[erikl]

Hallo yxo,
følgende: Motstanden av en Al cupoid med en kant lengde 0.15ľm og en høyde på 0.5ľm (estimert dimensjoner) er bare 0,6 Ohm.Hvis det er W (wolfram), handler det om den doble verdien.
HTH!erikl